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60L真空等离子处理机

应用于半导体/电子/LED,去除微细污染物(如光刻胶、氧化物);对塑料橡胶,清除脱模剂、油污,活化难粘塑料(如PP、PTFE)表面;对医疗器械(如导管、支架)进行超洁净处理并引入亲水基团;对纤维表面进行亲水改性;去除金属表面油脂、氧化层等等。

150L真空等离子处理机

应用于半导体/电子/LED,去除微细污染物(如光刻胶、氧化物);对塑料橡胶,清除脱模剂、油污,活化难粘塑料(如PP、PTFE)表面;对医疗器械(如导管、支架)进行超洁净处理并引入亲水基团;对纤维表面进行亲水改性;去除金属表面油脂、氧化层等等。

200L真空等离子处理机

应用于半导体/电子/LED,去除微细污染物(如光刻胶、氧化物);对塑料橡胶,清除脱模剂、油污,活化难粘塑料(如PP、PTFE)表面;对医疗器械(如导管、支架)进行超洁净处理并引入亲水基团;对纤维表面进行亲水改性;去除金属表面油脂、氧化层等等。

100L真空等离子处理机

应用于半导体/电子/LED,去除微细污染物(如光刻胶、氧化物);对塑料橡胶,清除脱模剂、油污,活化难粘塑料(如PP、PTFE)表面;对医疗器械(如导管、支架)进行超洁净处理并引入亲水基团;对纤维表面进行亲水改性;去除金属表面油脂、氧化层等等。

300L真空等离子处理机

提高笔芯亲水性:利用等离子体中的活性粒子与笔芯表面发生反应。通过等离子体中的高能粒子能够打破笔芯表面的化学键,引入极性基团,如羟基、羧基等,从而使笔芯表面具有亲水性。应用于各种类型的笔舌项芯,如直液式笔芯、马克笔芯、钢笔芯等。

10L台式真空等离子处理机

采用电容耦合(CCP)技术,通过内置电极板高频电场直接电离气体,生成均匀稳定的高活性等离子体,该等离子体能高效地对放置于真空腔室内的工件表面进行物理轰击与化学反应。应用于:新材料研究与开发、小型精密零部件、传感器、MEMS器件、小型样品批次的处理、粘接前处理、镀膜/涂装前处理、焊接前清洁。

5L真空等离子处理机-CCP-不锈钢腔体

采用电容耦合(CCP)技术,通过内置电极板高频电场直接电离气体,生成均匀稳定的高活性等离子体,该等离子体能高效地对放置于真空腔室内的工件表面进行物理轰击与化学反应。应用于:新材料研究与开发、小型精密零部件、传感器、MEMS器件、小型样品批次的处理、粘接前处理、镀膜/涂装前处理、焊接前清洁。

5L真空等离子处理机-ICP-石英腔体

采用电感性等离子体刻蚀(ICP)技术通过射频等离子电源在真空腔室内激发工艺气体,产生低温等离子体。该等离子体能高效地对放置于小型 5L 真空腔室内的工件表面进行物理轰击与化学反应。应用于:新材料研究与开发、小型精密零部件、传感器、MEMS器件、小型样品批次的处理、粘接前处理、镀膜/涂装前处理、焊接前清洁。

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