PCB等离子去胶机1800L
设备主机尺寸 W2300mm*2038mm*1600mm 真空室尺寸 135W*1480D*920H 电极板尺寸 1355MM*815MM×16mm 最大做板尺寸 28.5inch*50inch 最小做板尺寸 50*50mm 上下板方式 推 […]
立即咨询报价可根据实际需求定制，满足各类等离子表面处理工艺
产品详情
| 设备主机尺寸 | W2300mm*2038mm*1600mm |
| 真空室尺寸 | 135W*1480D*920H |
| 电极板尺寸 | 1355MM*815MM×16mm |
| 最大做板尺寸 | 28.5inch*50inch |
| 最小做板尺寸 | 50*50mm |
| 上下板方式 | 推车垂直放板 |
| 工作层数 | 15层反应区 |
| 等离子发生器功率 | 10kW |
| 等离子发生器频率 | 40KHz |
| 蚀刻速度 | 0.02-0.06mg/cm²/min |
| 蚀刻均匀性 | ≧85% |
| 供电电源 | 380VAC/3相5线制 |
| 工艺气体通道 | 4路（可选） |
| 流量计调节范围 | 0~2000sccm，根据不同工艺调节 |
| 工作真空度 | 150-300mtorr可调节 |
| 单次处理时间 | HDI：25-45min 高多层：30-60min |
| 极限真空 | ≤30mtorr |
| 设备重量 | 2.6T |
| 总额定功率 |
35Kw |
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