5L真空等离子处理机-ICP-石英腔体
采用电感性等离子体刻蚀（ICP）技术通过射频等离子电源在真空腔室内激发工艺气体，产生低温等离子体。该等离子体能高效地对放置于小型 5L 真空腔室内的工件表面进行物理轰击与化学反应。应用于：新材料研究与开发、小型精密零部件、传感器、MEMS器件、小型样品批次的处理、粘接前处理、镀膜/涂装前处理、焊接前清洁。
立即咨询报价可根据实际需求定制，满足各类等离子表面处理工艺
产品详情
| 型号 | JL-VMS05 | |||
| 等离子源系统 | 等离子发生器 | 射频频率：13.56MHZ；功率500W可调 | ||
| 真空系统 |
真空腔体 | 材质 | 石英玻璃 | |
| 腔体内部尺寸 | Φ160 mm * Dept.250mm（直径*深) | |||
| 腔体容积 | 5L | |||
| 泵 | 真空泵 | 抽速能力4m³/h 或 8m³/h （可选） | ||
| 选配 | 真空表：亚德客 | 浮子流量计：瞳牧 | ||
| 真空计：正华 | 质量流量计：SEVENSTAR | |||
| 气路控制 | 标配2路（可定制），气体流量可调，适用Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂ | |||
| 工作真空度 | 5Pa-30Pa | |||
| 电控系统 | 人机工控系统 | 自动+手动触控式全中文界面 | ||
| PLC+触摸屏 | 顾美 | |||
| 开关电源 | 台湾明纬 | |||
| 变频控制系统 | 根据实际情况自动调节真空泵抽速，实时确保真空度稳定 | |||
| 软件程序 |
自主专利设计等离子控制系统，三级权限设置自动、手动模式 配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控 |
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| 报警功能 |
真空度、辉光、功率、气压等实时监控报警 （蜂鸣器报警+显示屏提示） |
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| 进气系统 | 气体控制系统 | 电磁阀 | ||
| 气压监测系统 | 减压阀、压力报警表 | |||
| 进气管路组件 | Φ8mm软管+不锈钢套管路 | |||
| 泄压系统 | 破真空组件 | 挡板阀+节流阀+消音器 | ||
| 整机参数 | 外形尺寸（MM) | 650*530*420mm（宽*深*高） | ||
| 重量 | 55kg | |||
| 额定总功率 | 1.5KW | |||
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