什么是等离子体
等离子体(Plasma)是物质的第四态,由大量带电粒子(电子、离子)以及中性粒子(原子、分子、自由基)组成的准中性气体体系。当气体被施加足够的能量(热能、电能、电磁能等)时,原子或分子中的外层电子获得足够能量脱离原子核束缚,发生电离,从而形 […]
等离子体(Plasma)是物质的第四态,由大量带电粒子(电子、离子)以及中性粒子(原子、分子、自由基)组成的准中性气体体系。当气体被施加足够的能量(热能、电能、电磁能等)时,原子或分子中的外层电子获得足够能量脱离原子核束缚,发生电离,从而形 […]
气体放电是工业等离子体最主要的产生方式。在密封腔体或开放空间中,当两个电极之间施加足够高的电压时,气体中的少量自由电子(由宇宙射线、光电效应等产生)在电场作用下加速运动,与气体分子发生碰撞,从而引发雪崩式的电离过程,最终形成自持的等离子体放 […]
工业等离子体是一个复杂的多粒子体系,包含多种活性粒子,各自发挥不同的作用。理解这些粒子的特性及其相互关系,是掌握等离子表面处理技术的基础。 1.3.1 电子、离子、自由基、激发态原子 电子(Electrons): 电子质量最小(9.11×1 […]
根据等离子体中粒子能量分布状态的不同,工业应用中通常将等离子体分为热等离子体与非热等离子体两大类。这种分类直接决定了等离子体的工艺特性和适用场景。 1.4.1 热等离子体(热平衡) 热等离子体中电子、离子、中性粒子处于热力学平衡状态,温度通 […]