单一气体的等离子体化学
氩气、氧气、氮气、氢气和空气是工业等离子处理中最常用的工作气体。不同气体在等离子体中解离和电离后产生的活性物种各不相同，决定了处理效果的化学方向。理解单一气体的等离子体化学，是优化工艺气体选择和配比的基础。 4.1.1 氩气（Ar）等离子体 […]
氩气、氧气、氮气、氢气和空气是工业等离子处理中最常用的工作气体。不同气体在等离子体中解离和电离后产生的活性物种各不相同，决定了处理效果的化学方向。理解单一气体的等离子体化学，是优化工艺气体选择和配比的基础。 4.1.1 氩气（Ar）等离子体 […]
单一气体往往难以兼顾物理轰击与化学改性的双重需求。通过混合气体的协同作用，可以在同一工艺中实现多重效果，同时优化处理速率、均匀性和成本。 4.2.1 Ar + O2 混合：物理+化学双重作用 协同机制： 氩的彭宁电离效应：亚稳态氩的能量（1 […]
工艺气体的纯度直接影响等离子体放电的稳定性、处理效果的一致性和设备的使用寿命。水分、油分和其他杂质会改变等离子体化学、污染工件表面、损坏电极和真空系统。 4.3.1 水分/油分对放电稳定性的影响 水分的影响：水分子电离能较低（12.6 eV […]